Burak Evren, Elif Emil Kaya, Zeynep Erdöl, Duygu Ekinci, Mehmet İpekoğlu: Metal-Organik Kimyasal Buhar Biriktirme Sistemi (Mo-Cvd) Kurulumu Ve Demir Oksit İnce Film Kaplamalara Yönelik Süreç Optimizasyonu